감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법, 전자 디바이스
기관명 | NDSL |
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출원인 | 후지필름 가부시키가이샤 |
출원번호 | 10-2016-7013987 |
출원일자 | 2016-05-26 |
공개번호 | 20160707 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물은, 일반식 (X)로 나타나는 부분 구조를 갖는 수지 (P), 및 활성광선 또는 방사선의 조사에 의하여 산을 발생하는 화합물을 함유한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013987 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G03F-007/004,C08F-032/02,G03F-007/038,G03F-007/039,G03F-007/20,G03F-007/32,H01L-021/027 |
주제어 (키워드) |