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암시야 검사를 위한 맥락 기반 검사

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7019686
출원일자	2016-07-19
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼 상의 결함을 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다.일 방법은 하나 이상의 디자인 클립이 웨이퍼를 위한 웨이퍼 검사 프로세스에 의해 발생된 출력에서 어떻게 나타날 것인지에 기초하여 하나 이상의 디자인 클립을 변경하는 것을 포함한다.방법은 웨이퍼 검사 프로세스 중에 웨이퍼에 대해 발생된 출력에 하나 이상의 변경된 디자인 클립을 정렬하는 것을 또한 포함한다.게다가, 방법은 하나 이상의 변경된 디자인 클립에 정렬된 출력에 기초하여 웨이퍼 상의 결함을 검출하는 것을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019686
첨부파일

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