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실리콘 나노와이어 상보형 금속산화물 반도체 하이브리드 전류 증폭기 기반의 바이오센서 및 바이오물질 감지 방법

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기관명	NDSL
출원인	국민대학교산학협력단
출원번호	10-2014-0008467
출원일자	2014-01-23
공개번호	20150806
공개일자	2016-05-18
등록번호	10-1621687-0000
등록일자	2016-05-11
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 바이오 센서 및 감지 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하향식(top-down approach) 제조 공정을 이용하여 반도체 소자로 이루어진 바이오 센싱부와 타겟 물질의 상태변수에 상응하는 전류신호를 증폭하는 증폭부가 집적된 바이오 센서 및 바이오 물질 감지 방법에 관한 것이다. 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 도출된 것으로서, 하향식(top-down approach) 제조 공정을 이용하여 바이오 센서 부분과 증폭 회로를 단일 계열의 공정으로 형성하고, 이로 인하여 바이오 센서 및 증폭 회로의 공정 편차를 줄일 뿐 아니라 바이오 센서와 증폭 회로를 단일 칩 상에 용이하게 집적할 수 있어 소형화를 달성할 수 있는 바이오 센서 및 바이오 물질 감지 방법을 제안하는 것을 목적으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140008467
첨부파일

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