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베어링 기구 및 반송 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0054323
출원일자	2015-04-17
공개번호	20151112
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 회전축의 회전 운동을 저해하지 않고, 진공 용기 내의 유기 오염을 억제하는 베어링 기구를 제공한다.진공 용기 내에 수용되는 베어링 기구를 제공한다.이 베어링 기구는, 베어링, 자석, 요크 및 자성유체를 구비한다.베어링은, 내륜 및 전동체를 통하여 내륜에 대향 배치되는 외륜을 갖는다.자석은, 외륜의 단면에 접하는 제1 자극 및 제1 자극과 반대 측은 제2 자극을 갖고, 베어링의 축 방향을 따라서 제1 자극과 제2 자극 사이에서 연장되어 있다.요크는, 베어링 및 자석과 함께 자기 회로를 형성한다.이 요크는, 제2 자극과 내륜의 단면 사이에서 연장되어, 제2 자극에 접촉하고, 또한 내륜의 단면에 간극을 두고 면한다.자성유체는, 상기 자기 회로에 의해 보유 지지된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150054323
첨부파일

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