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과립상 폴리실리콘의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	와커 헤미 아게
출원번호	10-2015-7034977
출원일자	2015-12-09
공개번호	20160121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 유동층 반응기 내에서 과립상 폴리실리콘을 제조하는 방법으로서, 실리콘 입자를 600-1200℃로 가열되는 유동층 내에서 공급되는 유동화 기체를 통해 유동화하고; 실리콘-함유 반응 기체를 첨가하고; 상기 실리콘 입자 상에 실리콘을 증착함으로써, 과립상 폴리실리콘을 형성한 다음, 형성된 과립상 폴리실리콘을 상기 반응기로부터 배출하고, 폐가스를 배출하는 것을 포함하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 상기 배출되는 폐가스가 유동화 기체 또는 반응 기체를 가열하기 위하여, 또는 열 교환기 내의 냉각수 흐름을 가열하기 위하여 사용되는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=00000000&target=KUPA&cn=KOR1020157034977
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