| 초록 |
본 발명은 카세트 위치 결정 장치 및 반도체 처리 장치를 제공한다. 상기 카세트 위치 결정 장치는 수평적으로 배치되고 승강 장치에 연결되는 위치 결정 베이스플레이트, 상기 위치 결정 베이스플레이트 상에 위치되고, 상기 위치 결정 베이스플레이트의 일단에 회전 가능하게 연결된 일단을 갖는 회전식 위치 결정 플레이트, 상기 회전식 위치 결정 플레이트 상에는 위치 결정 조립체가 제공되고, 및 상기 회전식 위치 결정 플레이트 아래에 배치되는 지지 기둥을 포함한다. 상기 지지 기둥이 상기 위치 결정 베이스플레이트에 대해 미리 설정된 최고의 위치까지 상승하면, 상기 회전식 위치 결정 플레이트가 상기 지지 기둥에 의해 밀어 올려지고 상기 위치 결정 베이스플레이트에 대해 기울어지게 회전하도록, 상기 지지 기둥 및 상기 위치 결정 베이스플레이트는 서로에 대해 상대적으로 수직 방향으로 이동 가능하고, 상기 지지 기둥이 미리 설정된 최저의 위치에 위치되면, 상기 회전식 위치 결정 플레이트 및 상기 위치 결정 베이스플레이트는 상기 지지 기둥 상에 적층된다. 상기 카세트 위치 결정 장치 및 상기 반도체 처리 장치에서, 카세트 내의 모든 웨이퍼들의 수평 방향의 위치들은 일치되고, 이에 따라, 기계 암에 의해 반출되는 웨이퍼들은 상기 기계 암 상에서 고유하게 지정된 위치에 위치된다. |
