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퍼지 장치 및 퍼지 방법

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기관명	NDSL
출원인	무라다기카이가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-7020559
출원일자	2016-07-27
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	퍼지 장치(30)는 피격납물이 격납되는 격납 용기(50)의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 퍼지 장치(30)이며, 격납 용기의 배출구에 접속됨으로써 격납 용기 내부의 퍼지 가스를 배출하는 배출관(33)과, 퍼지 처리를 실시할 때에 배출관(33)을 흐르는 퍼지 가스의 유량인 배기 유량을 측정하는 측정부(39)와, 측정부(39)에 의해 측정된 배기 유량에 의거하여 퍼지 처리의 양부를 판정하는 판정부(43)를 구비하고 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020559
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