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초-평활 층 자외선 리소그래피 거울들 및 블랭크들, 및 그를 위한 제조 및 리소그래피 시스템들

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2017-7013877
출원일자	2017-05-22
공개번호	20170601
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	극자외선 거울 또는 블랭크 생산 시스템은, 반도체 기판 위에 평탄화 층을 증착시키기 위한 제 1 증착 시스템; 평탄화 층 위에 초-평활 층을 증착시키기 위한 제 2 증착 시스템 ― 초-평활 층은 재조직된 분자들을 가짐 ―; 및 초-평활 층 위에 다층 스택을 증착시키기 위한 제 3 증착 시스템을 포함한다.극자외선 블랭크는, 기판; 기판 위의 평탄화 층; 평탄화 층 위의 초-평활 층 ― 초-평활 층은 재조직된 분자들을 가짐 ―; 다층 스택; 및 다층 스택 위의 캐핑 층들을 포함한다.극자외선 리소그래피 시스템은, 극자외선 광 소스; 극자외선 광 소스로부터의 광을 지향시키기 위한 거울; 평탄화 층 및 평탄화 층 위의 초-평활 층을 갖는 극자외선 마스크 블랭크를 위치시키기 위한 레티클 스테이지; 및 웨이퍼를 위치시키기 위한 웨이퍼 스테이지를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177013877
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