| 초록 |
본 발명은 X-레이 소스(1), 검출기(3) 및 상기 X-레이 소스(1)와 상기 검출기(3) 사이에 배치되며 테스트 대상(2)이 그 위에 고정될 수 있는 회전식 테이블(4)을 갖는 X-레이 검사 시스템에 관한 것이며, 상기 회전식 테이블(4)은 포지셔닝 테이블(6) 상에 배치되며; 상기 포지셔닝 테이블(6)은 상기 X-레이 소스(1)와 상기 검출기(3) 간의 xy-평면에 평행하게 움직일 수 있으며; 상기 xy-평면은 xz-평면에 평행하게 연장하는 상기 검출기(3)의 표면과는 수직이며; 상기 회전식 테이블(4)은 z-축을 중심으로 회전할 수 있다. 또한, 본 발명은 상술한 X-레이 검사 시스템에서 테스트 대상(2)을 회전시키는 방법에 관한 것이며, 상기 테스트 대상(2)은 상기 회전식 테이블(4) 상에 고정되며; 상기 회전식 테이블(4)은 상기 z-축을 중심으로 회전하며, 이와 동시에, 상기 포지셔닝 테이블(6)은 상기 xy-평면에서 움직이며, 상기 회전식 테이블(4)의 회전 각 φ 은 상기 포지셔닝 테이블(6)의 x-위치 및 y-위치에 대하여 하기의 관계식을 갖는다: X = R × cos(φ - φ 0 )+ X 0 및 Y = R × sin(φ - φ 0 )+ Y 0. |
