| 기업공감원스톱서비스

투명 도전성 필름의 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	닛토덴코 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7034775
출원일자	2015-12-07
공개번호	20151231
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광투과성이 뛰어나며, 또한 비저항이 작은 투명 도전성 필름의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 필름기재와, 상기 필름기재상에 형성된 결정화한 인듐 주석 산화물층을 갖추는 투명 도전성 필름의 제조 방법이다.본 발명은, 인듐 주석 산화물을 타겟재로서 이용하는 스퍼터링 장치 내에, 상기 필름기재를 넣어, 상기 타겟재상의 수평 방향 자기장이 50mT 이상인 마그네트론 스퍼터링법에 의해, 상기 필름기재상에 비정질 부분을 포함하는 인듐 주석 산화물을 퇴적시키는 공정과, 상기 비정질 부분을 포함하는 인듐 주석 산화물을 퇴적하는 공정의 후에, 상기 비정질 부분을 포함하는 인듐 주석 산화물을 가열 처리함으로써, 상기 비정질 부분을 포함하는 상기 인듐 주석 산화물을 결정화시켜, 상기 결정화한 인듐 주석 산화물층을 형성하는 공정을 가진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157034775
첨부파일

기업조회