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비편향 웨이퍼 결함 샘플

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2015-7015452
출원일자	2015-06-10
공개번호	20150723
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	비편향(unbiased) 웨이퍼 결함 샘플들을 발생시키기 위한 방법 및 시스템이 제공된다.하나의 방법은, 각각의 스캔에 걸쳐 다양한 결함 세트가 선택되도록 하나 이상의 결함 속성들에 있어서 최대 다양성을 갖는, 웨이퍼에 대해 수행된 복수의 스캔들 각각에 의해 검출된 결함들을 선택하는 것을 포함한다.또한, 방법은, 선택되어진, 그리고 스캔들 중의 둘 이상에 공통인 임의의 결함이 두 번씩 선택되지 않도록 결함들을 선택하는 것을 포함할 수 있고, 선택되는 임의의 결함은 공통의 선택된 결함과 관련하여 다양한 것이다.또한, 결함들의 선택 전에 결함들의 어떠한 샘플링, 비닝, 또는 분류도 수행되지 않을 수 있으며, 그리하여 샘플링된 결함들은 임의의 샘플링, 비닝, 또는 분류 방법에 의해 비편향이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157015452
첨부파일

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