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빔조사장치 및 빔조사방법

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기관명	NDSL
출원인	스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0081702
출원일자	2015-06-10
공개번호	20151231
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	빔조사처리의 품질을 높이는 기술을 제공한다. 빔조사장치(10)는, 하전입자빔(B)을 소정의 주사방향으로 왕복주사시키는 빔주사기(26)와, 계측대상으로 하는 영역에 입사하는 하전입자의 각도성분을 계측 가능한 측정기(42)와, 측정기(42)의 계측 결과를 이용하여, 하전입자빔(B)의 실효조사 이미턴스를 산출하는 데이터처리부를 구비한다. 측정기(42)는, 주사방향으로 왕복주사되는 하전입자빔(B)이 계측대상으로 하는 영역을 통과하여 측정기(42)에 입사하는 시간에 걸쳐, 하전입자빔(B)에 대한 각도분포의 시간변화치를 계측하고, 데이터처리부는, 측정기가 계측한 각도분포의 시간변화치에 포함되는 시간정보를 위치정보로 변환하여 실효조사 이미턴스를 산출한다. 실효조사 이미턴스는, 주사방향으로 주사되어 계측대상으로 하는 영역에 입사하는 하전입자빔의 일부를 서로 합침으로써 형성될 수 있는 가상적인 빔다발에 대한 이미턴스를 나타낸다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150081702
첨부파일

기업조회