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구조체의 전자기 산란 특성을 계산하고 이의 기하학적 파라미터 및 재료 파라미터를 추정하기 위한 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7015529
출원일자	2016-06-10
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산란측정에서, 규격화 파라미터를 포함하는 메리트 함수가 측정된 타겟의 산란 특성에 대한 값을 찾기 위한 반복 프로세스에서 사용된다.규격화 파라미터에 대한 최적의 값이 각각의 측정 타겟에 대하여 그리고 반복적 프로세스의 각각의 반복 과정에서 획득된다.불일치 원리, 카이-제곱 방법, 및 메리트 함수를 포함하는, 불일치 원리 및 카이-제곱 방법의 신규한 변경예를 포함하는 다양한 방법들이 규격화 파라미터에 대한 값을 찾기 위하여 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015529
첨부파일

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