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마이크로 유체공학 용도를 위한 저탄성 막

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기관명	NDSL
출원인	마이크로닉스 인코포레이티드.
출원번호	10-2015-7019644
출원일자	2015-07-20
공개번호	20150827
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제1 내벽에 의해 경계가 정해지는 제1 서브캐비티와 제2 내벽에 의해 경계가 정해지는 제2 서브캐비티로 다이아프램 웨브에 의해 분할되는 마이크로캐비티로 형성된 마이크로밸브, 마이크로펌프 또는 마이크로통기공과 같은 마이크로캐비티들이 제공되며, 다이아프램 웨브는, 제1 내벽을 접촉하는 제1 상태와 제2 내벽을 접촉하는 제2 상태를 갖고 본질적으로 제1 상태와 제2 상태 사이에서 움직일 때 탄성을 보이지 않는 박막을 특징으로 하고, 박막 웨브는 사용 전에 또는 사용 동안 그 항복점을 지나서 스트레칭된다. 개시된 요소들은 마이크로캐비티에서 다이아프램의 보다 빠르고 보다 효율적인 순환을 가능하게 하며, 다이아프램 표면적을 증가시킨다. 바람직한 실시예에서, 마이크로캐비티는 공압으로 구동되고, 마이크로펌프에서 유체의 운동을 제어한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157019644
첨부파일

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