| 초록 |
본 발명은 반도체 제조장비용 배출가속기에 관한 것으로, 그 주된 목적은 반도체 제조장비에 다수 구비된 웨이퍼에 잔존하는 흄(Fume)의 배출 속도 및 배출 효율을 향상시킬 수 있는 배출가속기를 제공하는 것이다. 이러한 목적으로 이루어진 본 발명은, 반도체 제조장비 내부의 유로를 유동하는 배기유체의 배출을 가속화하는 배출가속기에 관한 것으로, 상기 배출가속기는, 원형관 형태로 이루어진 일단에 상기 반도체 제조장비 내부의 유체가 유입되도록 마련된 유입구와, 상기 유입구의 하측 직각방향으로 공급 유체가 공급되도록 적어도 하나 이상의 공급관이 구비된 에어공급부와, 상기 에어공급부를 통해 공급되는 공급 유체가 유동하는 제 1유체유동부로 이루어진 제 1본체와; 상기 제 1본체의 내주 일측에 결합되는 일단 외주에 상기 제 1유체유동부와 단면상 대칭형으로 결합하되, 일단은 상기 제 1유체유동부의 일측과 소정거리 이격된 틈새가 형성되는 제 2유체유동부가 구비되며, 상기 틈새로 배출되는 유체가 배출되는 유체배출부로 이루어진 제 2본체를 포함한다. 이에 따라, 반도체 제조장비에 다수 구비되는 웨이퍼에 잔존하는 흄(Fume)의 배출 속도 및 배출 효율을 향상시킬 수 있는 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트를 제공하는 이점이 있다. |
