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액체 회수 시스템, 액침 노광 장치, 액침 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7020386
출원일자	2016-07-26
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	액체 회수 시스템은 액침 노광 장치로써 이용된다. 액체 회수 시스템은,제 1 개구부; 제 1 개구부와 대향하는 물체 상의 액체가 제 1 개구부를 통해 유입가능한 공극부; 공극부로 유입되는 액체의 적어도 일부를 다공성 부재를 통해 흡인하는 액체 회수부; 및 제 1 개구부와 상이한 제 2 개구부를 포함한다. 공극부가 제 2 개구부를 통해 대기에 개방되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020386
첨부파일

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