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실리콘 웨이퍼 프리 얼라인 장치 및 그 방법

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기관명	NDSL
출원인	상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2016-7020886
출원일자	2016-07-29
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실리콘 웨이퍼(60)의 회전과 승강 운동을 발생시키는 제1 장치(40), 실리콘 웨이퍼의 평행 이동을 발생시키는 제2 장치(50) 및 광원, 렌즈, 이미지 센서(20)를 포함하는 위치 탐지 장치를 포함하고, 광원으로부터 발산되는 광속은 실리콘 웨이퍼와 렌즈를 경과한 후, 실리콘 웨이퍼의 위치 정보를 이미지 센서로 전송하고, 제1 장치와 제2 장치는 이미지 센서가 획득한 위치 정보에 근거하여 실리콘 웨이퍼의 위치를 조절할 수 있는 실리콘 웨이퍼 프리 얼라인 장치를 제공한다. 또한, TSV에 대해 프리 얼라이닝하는 방법을 더 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020886
첨부파일

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