유지 장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 가부시키가이샤 하모테크 |
출원번호 | 10-2016-7017610 |
출원일자 | 2016-06-30 |
공개번호 | 20160811 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 유체를 토출함으로써 판형상의 부재와의 사이에 부압을 발생시켜 당해 부재를 유지하는 유지 장치는, 기둥형상의 본체와, 상기 본체에 형성되어, 상기 부재에 면하는 평탄형상의 단면과, 상기 단면에 형성되는 오목부와, 상기 오목부 내에 유체를 토출하여, 선회류를 형성하는 1이상의 유체 통로와, 상기 선회류의 중심부와 대향하는, 상기 부재의 부분에 액체를 공급하는 액체 공급 수단을 구비한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017610 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/683,B25J-015/06,B65G-047/91,B65G-049/06,H01L-021/02,H01L-021/67 |
주제어 (키워드) |