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예측 필터들을 이용한 기판 폴리싱 동안의 폴리싱 레이트들의 조정

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7017237
출원일자	2016-06-27
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판의 영역의 두께에 의존하는 측정된 특성화 값이 제 1 예측 필터 내로 입력된다.제 1 예측 필터는 필터링된 특성화 값을 생성한다.측정된 특성화 값이 변화되는 측정된 특성화 레이트가 제 2 예측 필터 내로 입력된다.제 2 예측 필터는 기판의 영역의 필터링된 특성화 레이트를 생성한다.특정된 특성화 값 및 측정된 특성화 레이트는, 기판의 폴리싱 프로세스 동안에, 제 1 시간에서 또는 제 1 시간 전에 행해진 인-시튜 측정들에 기초하여 결정된다.요구되는 특성화 레이트는, 필터링된 특성화 값 및 필터링된 특성화 레이트에 기초하여, 제 1 시간 후에 그리고 제 2의 추후의 시간 전에, 기판의 영역을 폴리싱하기 위해 사용되도록 결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017237
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