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투명한 기판들을 위한 고도로 투명한 수소화된 탄소 보호 코팅을 생산하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	인테벡, 인코포레이티드
출원번호	10-2015-7001838
출원일자	2015-01-22
공개번호	20150326
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	투명하고 무결한 수소화된 탄소 막, 예컨대, 수소화된 다이아몬드상 탄소 막을 증착하기 위한 물리적 기상 증착 (PVD) 챔버이다. 챔버 몸체가 진공 조건을 내부에 유지하도록 구성되며, 챔버 몸체는 그것의 측벽 상에 어퍼쳐를 가진다. 오리피스가 어퍼쳐에 겹치도록 오리피스를 갖는 플라즈마 케이지가 측벽에 부착된다. 2 개의 스퍼터링 타겟들이 플라즈마 케이지 내부의 캐소드들 상에 위치해 있고 서로 대향하게 배치되고 스퍼터링 타겟들 사이에서 그리고 플라즈마 케이지 내부에 한정된 플라즈마를 지속하도록 구성된다. 케이지 내부의 플라즈마는 타겟들로부터 재료를 스퍼터링하며, 그러면 그 재료는 오리피스 및 어퍼쳐를 통과하고 기판 상에 내려 앉는다. 기판은 공정 동안 패스바이 패션으로 계속해서 이동된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157001838
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