| 초록 |
제1 형성 단계에서 형성 도구를 이용하여 중간체 실린더 벽 두께 및 중간체 실린더 바깥 직경을 갖는 석영 유리의 중간체 실린더를 형성한 후 냉각하고, 제2 성형 단계에서 상기 냉각된 중간체 실린더의 1 이상의 길이 세그먼트를 가열 구역으로 공급하고, 거기서 연화 온도까지 구역별로 가열하고, 그 종축에 대해 회전시키면서 최종 벽 두께 및 최종 바깥 직경을 갖는 대형 석영 유리관으로 성형하는 다단계 형성에 의해 대형 석영 유리관을 제조하는 방법은 공지되어 있다. 형상 변동은 최종 관의 바깥 직경에 따라 지수적으로 증가한다. 500 mm를 초과하는 큰 바깥 직경에서도 높은 치수 정확성을 갖는 석영 유리관을 경제적으로 합리적인 비용으로 제조할 수 있는 방법을 구체화하기 위하여, 본 발명에 따른 석영 유리는 합성 제조되고 10 중량 ppm 이하의 평균 히드록실기 함량을 가지며, 단, 중간체 실린더가 1 cm 길이의 길이 세그먼트들로 나뉘는 경우, 인접하는 길이 세그먼트들은 그 평균 히드록실기 함량에 있어서 2 중량 ppm 미만의 차이를 가진다. |
