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MEMS 센서

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기관명	NDSL
출원인	삼성전기주식회사
출원번호	10-2014-0023387
출원일자	2014-02-27
공개번호	20150910
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 일실시예에 따른 MEMS 센서는 질량체와, 상기 질량체에 결합된 가요성 빔과, 상기 가요성 빔이 연결되고 상기 질량체를 부상가능하도록 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 가요성 빔에는 상기 질량체의 변위에 따른 물리량 검출을 위한 감지수단이 형성되고, 상기 가요성 빔과 지지부와의 연결부에는 강성보강에 따른 응력집중완화를 위한 보강부가 형성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140023387
첨부파일

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