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산화물 반도체 박막의 평가 방법, 및 산화물 반도체 박막의 품질 관리 방법, 및 상기 평가 방법에 이용되는 평가 소자 및 평가 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 고베 세이코쇼
출원번호	10-2015-7018422
출원일자	2015-07-09
공개번호	20150820
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산화물 반도체 박막의 스트레스 내성을, 비접촉형으로, 정확하고 간편하게 측정하고, 평가(예측ㆍ추정)하는 방법, 및 산화물 반도체의 품질 관리 방법을 제공한다.본 발명과 관련되는 산화물 반도체 박막의 평가 방법은, 산화물 반도체 박막이 형성된 시료에 여기 광 및 마이크로파를 조사하고, 상기 여기 광의 조사에 의해 변화하는 상기 마이크로파의 상기 산화물 반도체 박막으로부터의 반사파의 최대치를 측정한 후, 상기 여기 광의 조사를 정지하고, 상기 여기 광의 조사 정지 후의 상기 마이크로파의 상기 산화물 반도체 박막으로부터의 반사파의 반사율의 변화를 측정하는 제 1 공정과, 상기 반사율의 변화로부터, 여기 광의 조사 정지 후 1㎲ 정도에 보이는 늦은 감쇠에 대응하는 파라미터를 산출하고, 상기 산화물 반도체 박막의 스트레스 내성을 평가하는 제 2 공정을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157018422
첨부파일

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