조합된 X선 및 광학적 계측
기관명 | NDSL |
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출원인 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 |
출원번호 | 10-2016-7003281 |
출원일자 | 2016-02-04 |
공개번호 | 20160317 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 시편의 구조적 파라미터들은 조합된 분석에서 상이한 측정 기법들에 의해 수집된 측정들에 대해 시편의 응답의 모델들을 피팅함으로써 결정된다.시편의 x-선 측정 데이터는 시편의 광학적 측정들 및 x-선 측정들 양자의 조합된 분석에서 상수로서 취급되는 적어도 하나의 시편 파라미터 값을 결정하기 위하여 분석된다.예를 들어, 특정한 구조적 속성, 또는 시편의 원소 조성과 같은 특정한 재료 속성은 x-선 측정 데이터에 기초하여 결정된다.x-선 측정 데이터로부터 결정된 파라미터(들)는 시편의 광학적 측정들 및 x-선 측정들 양자의 추후의 조합된 분석에서 상수들로서 취급된다.추가의 양태에서, 응답 모델들의 구조는 모델들과 대응하는 측정 데이터 사이의 피트의 품질에 기초하여 변경된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003281 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G01N-023/203,G01B-015/00,G01N-023/22,H01L-021/66 |
주제어 (키워드) |