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X선 토포그래피 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 리가쿠
출원번호	10-2013-0035372
출원일자	2013-04-01
공개번호	20131018
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	시료에 입사시키는 원하는 특성 X선을 X선원이 방사하는 X선으로부터 분리시킴과 동시에, 시료에 입사하여 회절에 기여하는 그 원하는 특성 X선의 조사 범위를 넓게 할 수 있는 X선 토포그래피 장치의 제공. 소정의 특성 X선을 포함하는 X선을 미소 초점으로부터 방사하는 X선원; 상기 소정의 특성 X선에 대응하는 경사 격자면 간격의 다층막 미러를 포함함과 동시에, 그 다층막 미러가 반사하는 X선을 시료에 입사시키는 광학계; 상기 시료로부터 발생하는 회절 X선을 검출하는 X선 검출기;를 구비하는 X선 토포그래피 장치로서, 상기 다층막 미러는 단면이 포물선이 되는 만곡 반사면을 가지고, 상기 만곡 반사면의 초점에 상기 X선원의 상기 미소 초점이 배치된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130035372
첨부파일

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