| 기업공감원스톱서비스

TSV 측정장치 및 측정방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에스엔유 프리시젼 주식회사
출원번호	10-2013-0034050
출원일자	2013-03-29
공개번호	20140703
공개일자	2014-07-01
등록번호	10-1414255-0000
등록일자	2014-06-25
권리구분	KPTN
초록	TSV와 같은 비아홀을 측정할 수 있는 TSV 측정장치 및 측정방법이 개시된다. 측정대상물에 형성된 TSV를 측정하기 위한 TSV 측정장치는, 광원, 광원으로부터 조사되는 광의 경로 상에 제공되며 TSV의 종횡비(aspect ratio)에 따라 광원으로부터 조사되는 광의 조사면적을 조절하는 디지털 가변 조리개부, 디지털 가변 조리개부를 통과한 광을 서로 수직인 제1방향과 제2방향으로 분할하여 출력하고 제1방향에 배치된 측정대상물로부터 반사되는 제1반사광 및 제2방향에 배치된 미러로부터 반사되는 제2반사광을 결합하여 결합광으로 출력하는 빔 스플리터, 및 빔 스플리터로부터 안내된 결합광을 이용하여 TSV를 측정하는 검출부를 포함하고, 디지털 가변 조리개부는 물리적인 이동없이 TSV의 종횡비에 대응하여 선택적으로 서로 다른 구경 크기를 갖는 조리개 기능을 수행한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130034050
첨부파일

기업조회