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임피던스 변환기를 구비한 고주파 상압 플라즈마 발생장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 영신알에프
출원번호	10-2016-0013688
출원일자	2016-02-03
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 상압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 플라즈마를 생성하는 헤드 상단에 코일과 콘덴서로 이루어진 임피던스 변환기를 구비함으로써, 정합기의 출력 콘넥터와 상압플라즈마 헤드의 고주파 입력단자 사이를 연결하여 주는 동축케이블의 발열을 억제하여 고주파 입력케이블의 소손을 미연에 방지하여 상압 플라즈마 발생장치의 안정적인 운용을 가능하게 하며, 고주파 입력케이블을 유연성이 양호한 자재로 이용가능하게 함으로써 상압 플라즈마 발생장치의 작동 동선을 확대할 수 있도록 한 임피던스 변화기를 구비한 상압 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160013688
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