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레이저 어닐링 장치, 반도체 장치의 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	미쓰비시덴키 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7024130
출원일자	2015-09-04
공개번호	20151015
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원의 발명과 관련되는 레이저 어닐링 장치는, 피가열물을 탑재하는 스테이지와, 제 1 연속 레이저 광을 방사하는 제 1 레이저 소자와, 그 제 1 연속 레이저 광을 그 피가열물에 유도하여, 그 피가열물에 제 1 조사 영역을 형성하는 제 1 광학계와, 그 제 1 연속 레이저 광보다 파장이 짧은 제 2 연속 레이저 광을 방사하는 제 2 레이저 소자와, 그 제 2 연속 레이저 광을 그 피가열물에 유도하여, 그 피가열물에 제 2 조사 영역을 형성하는 제 2 광학계와, 그 피가열물의 각 부분에 대하여 그 제 2 조사 영역이 주사되기 전에 그 제 1 조사 영역의 적어도 일부가 주사되도록, 그 제 1 조사 영역과 그 제 2 조사 영역을 주사시키는 시스템 컨트롤러를 구비한 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157024130
첨부파일

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