| 기업공감원스톱서비스

방사선 소스 및 리소그래피 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7008022
출원일자	2016-03-25
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	방사선 소스는 액적 경로를 따라 플라즈마 형성 위치를 향해 연료 액적들의 스트림을 지향하도록 구성되는 노즐을 포함하고, 가우스 세기 분포를 갖고, 사전설정된 파장을 가지며, 사전설정된 궤적을 따라 전파되는 가우스 방사선 빔을 수용하도록 구성되며, 플라즈마 형성 위치의 연료 액적 상에 방사선 빔을 포커스하도록 더 구성된다.방사선 소스는 1 이상의 위상판을 포함하는 위상판 구조체를 포함한다.위상판 구조체는 제 1 구역 및 제 2 구역을 갖는다.구역들은 제 1 구역을 통과하는 사전설정된 파장을 갖는 방사선 및 제 2 구역을 통과하는 사전설정된 파장을 갖는 방사선이 상이한 광학 경로 길이들을 갖는 각각의 광학 경로들을 따라 전파되도록 배치된다.광학 경로 길이들 간의 차이는 사전설정된 파장 절반의 홀수 배이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008022
첨부파일

기업조회