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정전기 척들을 위한 장벽 층들

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기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7008046
출원일자	2016-03-25
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고온에서 이온들을 주입하기 위한 정전기 척이 개시된다. 정전기 척은 그 위에 배치된 전기적으로 전도성 전극들을 갖는 절연 베이스(insulting base)을 포함한다. 유전체 상단 층(dielectric top layer)이 전극들 위에 배치된다. 장벽 층이 유전체 상단 층과 작업물 사이에 있게 하기 위해서 유전체 상단 층 위에 배치된다. 이 장벽 층(barrier layer)은 유전체 상단 층으로부터 척 위에 클램프되는 작업물로 입자들의 이동을 저지시키는 역할을 한다. 일부 실시예들에서, 마모를 방지하기 위해 장벽 층의 상단위에 보호층(protective lyaer)이 도포된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008046
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