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유량 측정 방식을 이용한 웨이퍼 베이킹 설비의 배기관 오염물질 제거장치

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기관명	NDSL
출원인	(주)에스티글로벌
출원번호	10-2015-0182734
출원일자	2015-12-21
공개번호	20160721
공개일자	2016-07-19
등록번호	10-1640434-0000
등록일자	2016-07-12
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 따른 유량 측정 방식을 이용한 웨이퍼 베이킹 설비의 배기관 오염물질 제거장치는, 웨이퍼 베이킹 설비의 배기관에 구비되어, 상기 배기관 내에 오염물질이 퇴적되는 것을 방지하도록 구동되는 오염물질 제거유닛, 상기 배기관의 둘레로부터 상기 배기관 외부로 연장되며, 상기 배기관과 연통된 외기유동관, 상기 외기유동관에 구비되어 상기 외기유동관을 통해 상기 배기관 내측으로 유입되는 유체의 유량을 측정하는 유량측정부 및 상기 유량측정부의 측정 결과에 대응되도록 상기 오염물질 제거유닛을 구동시키는 제어부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150182734
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