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광전자 소자 및 광전자 소자를 제조하기 위한 방법

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기관명	NDSL
출원인	오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하
출원번호	10-2015-7010774
출원일자	2015-04-24
공개번호	20150604
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 광전자 소자의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은 - 기판을 준비하는 단계; - 상기 기판의 표면상에 핵생성층을 제공하는 단계; - 상기 핵생성층 상에 마스크층을 제공하고 구조화하는 단계; - 제 1 성장 단계에서 질화물 반도체를 성장시키는 단계, 이 경우 측방향 격자를 형성하는 웨브들이 설치되고, 이러한 웨브들은 성장 방향으로 섹션별로 사다리꼴 단면적들을 가지며; 그리고 - 상기 웨브들 사이 자유 공간들을 폐쇄하기 위하여, 제 2 성장 단계에서 질화물 반도체로 상기 웨브들을 측방향으로 과성장시키는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157010774
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