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대구경 탄화규소 단결정 잉곳의 성장방법

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기관명	NDSL
출원인	에스케이씨 주식회사
출원번호	10-2019-0102776
출원일자	2019-08-22
공개번호	20190905
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	탄소질 보호막이 구비된 SiC 단결정의 종자정을 반응용기 내에 접착 없이 배치하고 SiC 원료 물질로부터 상기 종자정에 SiC 단결정을 성장시키는 방법은, 종자정을 홀더에 부착하지 않기 때문에 가열 중에 열팽창계수 차이에 의한 휨이나 크랙이 발생하지 않아서 대구경의 단결정 잉곳을 성장시킬 수 있다. 특히 실시예에 따르면, 상기 탄소질 보호막을 다층으로 형성하면서 각 층별로 물성을 다르게 구성함으로써, 단층으로 보호막을 형성할 경우보다, 막질, 종자정과 보호막 간의 접착성과 보호막의 두께 및 내열성 면에서 개선될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020190102776
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