그래핀 구조물을 갖는 캐패시터, 이 캐패시터를 포함하는 반도체 디바이스, 및 그 형성 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 |
출원번호 | 10-2016-0104842 |
출원일자 | 2016-08-18 |
공개번호 | 20160901 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 캐패시터는 제1 복수의 그래핀 층들을 갖는 제1 그래핀 구조물을 포함한다.캐패시터는 제1 그래핀 구조물 위에 유전체층을 더 포함한다.캐패시터는 유전체층 위에 제2 그래핀 구조물을 더 포함하며, 제2 그래핀 구조물은 제2 복수의 그래핀 층들을 갖는다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160104842 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-027/108,C01B-031/04,H01L-021/8239 |
주제어 (키워드) |