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현장 초고순도 화학물질 또는 가스 정제

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기관명	NDSL
출원인	에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
출원번호	10-2016-0084331
출원일자	2016-07-04
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 공급된 물질의 사전 설정된 순도를 소정의 사양 범위내로 유지시키면서, 0% 내지 100%의 현장 턴다운비 내로 제작 공정으로 고순도 및 초고순도 생성물 예컨대, 처리 화학물질, 산업용 및 특수 가스를 전달하기 위한 현장 정제 설비/시스템을 제공한다.생성물을 현장 정제 설비/시스템으로 다시 재유도함으로써 정제 수단/유닛중 하나 이상에서 액체/증기 비를 보존하며, 이는 정제 생성물 순도 범위가 변화되지 않은 채 유지되는 것을 보장한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160084331
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