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패턴 측정 장치 및 컴퓨터 프로그램

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
출원번호	10-2016-7014512
출원일자	2016-05-31
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 패턴의 미세화나 어긋남 등에 상관없이, 정확 또한 안정되게 패턴이나 엣지의 판정, 혹은 엣지의 특정에 기초하는 측정을 행하는 패턴 측정 장치 및 컴퓨터 프로그램이다.본 발명에서는 특정한 간격으로 반복하여 배열되어 있는 패턴 부위(G1, G2, G3, G4)를 패턴 부위의 위치에 따라서 분류하고, 당해 분류된 패턴 부위와, 패턴의 엣지의 종류에 관한 정보, 혹은 패턴의 종류에 관한 정보와의 대응짓기에 기초하여, 패턴의 엣지의 종류의 특정, 패턴의 종류의 특정, 또는 소정의 패턴 부위간의 치수 측정을 실행하는 패턴 측정 장치 및 상기 처리를 컴퓨터에 실행시키는 컴퓨터 프로그램이 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014512
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