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세정 장치

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기관명	NDSL
출원인	제로스 리미티드
출원번호	10-2016-7011355
출원일자	2016-04-28
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고체 입상 물질을 이용하여 오염된 기재를 세정하기 위한 장치는 세정 체적; 수집 체적; 펌프 유입구를 갖는 펌핑 장치; 및 상기 고체 입상 물질과 수송 유체가 상기 펌핑 장치를 통해 상기 수집 체적으로부터 상기 세정 체적으로 수송될 수 있는 순환 경로를 포함한다.이 장치는 수집 체적 내에 배치되는, 그리고 적어도 하나의 벽에 의해 형성되는 플로우 스루 엔클로저를 포함하는 유량 조절 장치, 펌프 유입구와 연통되는 엔클로저 유출구, 플로우 스루 엔클로저의 저면에 배치되는, 그리고 엔클로저에 고체 입상 물질 및 수송 유체의 양자 모두의 유입을 허용하도록 구성되는 적어도 하나의 입자 유입 오리피스를 포함한다.이 장치는 플로우 스루 엔클로저으로 수송 유체만 유입될 수 있도록 구성되는 적어도 하나의 비교적 더 작은 유체 유입 오리피스를 더 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011355
첨부파일

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