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조명 장치, 조명 방법, 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7020176
출원일자	2016-07-22
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 조명 동공면에 다중레벨의 광 강도 분포를 선택적으로 형성할 수 있는 구조를 갖는 조명 장치에 관한 것이다.조명 장치는 광원으로부터의 빛에 근거하여 조명 동공면에 형성된 소정의 광 강도 분포를 광원으로서 사용하여 피조사면에 쾰러 조명을 실행한다.조명 장치는 공간 광변조기, 집광 광학계 및 제어 유닛을 구비한다.공간 광변조기는 이차원적으로 배열되고 그 자세가 서로 독립적으로 제어되는 복수의 반사면을 구비한다.집광 광학계는 반사면들로부터의 빛을 집광하여, 조명 동공면에 소정의 광 강도 분포를 형성한다.제어 유닛은 조명 동공면에 형성하고자 하는 광 강도 분포에 따라서 광 강도 분포를 형성하는 조명 동공면상의 각각의 지점에 도달하는 빛에 기여하는 반사면의 수를 제어한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020176
첨부파일

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