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다색 연엑스선 회절에 기초한 반도체 계측을 위한 방법 및 시스템

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이 코포레이션
출원번호	10-2020-7003906
출원일자	2020-02-10
공개번호	20200227
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고휘도 다색 RSAXS(reflective small angle x-ray scatterometry) 계측에 기초한 반도체 구조물의 측정을 수행하기 위한 방법 및 시스템이 본 명세서에서 제시된다. RSAXS 측정은 작은 조명 빔 스폿 사이즈로 일정 범위의 파장, 입사각, 및 방위각에 걸쳐, 동시에 또는 순차적으로, 수행된다. 일부 실시예에서, RSAXS 측정은 연엑스선(SXR) 영역의 엑스선 방사선을 사용하여 5 내지 20도 범위의 지표 입사각으로 수행된다. 일부 실시예에서, 엑스선 조명 소스 사이즈는 10 마이크로미터 이하이고, 포커싱 광학장치는 소스 영역을 0.2 이하의 축소율 인자로 웨이퍼 상으로 투영하여, 2 마이크로미터 미만의 입사하는 엑스선 조명 스폿 사이즈를 가능하게 한다. 다른 양태에서, 능동 포커싱 광학장치는 프로그래밍된 범위의 조명 파장, 입사각, 및 방위각, 또는 이들의 임의의 조합을, 동시에 또는 순차적으로 중 어느 하나로, 계측 영역 상으로 투영한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207003906
첨부파일

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