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증착 장치 및 유기 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	샤프 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7005772
출원일자	2016-03-03
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 증착류의 산란에 기초하는 이상 성막의 발생을 방지할 수 있는 증착 장치 및 상기 증착 장치에 의해 박막 패턴이 형성되는 유기 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법을 제공한다.본 발명은, 증착 입자를 사출하는 노즐을 갖는 증착원과, 상기 노즐의 전방에 개구부를 갖는 제1 제한판 및 상기 제1 제한판의 개구부 내에 배치된 복수의 제2 제한판을 갖는 일체화 제한판과, 복수의 슬릿을 갖는 마스크를 구비하는 증착 장치, 및 상기 증착 장치를 사용하여 박막의 패턴을 형성하는 증착 공정을 포함하는 유기 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167005772
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