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패턴화된 웨이퍼 특성화를 위한 방법 및 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7005761
출원일자	2016-03-03
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 웨이퍼 상의 관심 있는 복수의 구조물을 특성화하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 복수의 스펙트럼 신호는 계측 시스템의 하나 이상의 센서로부터 복수의 방위각에서 관심 있는 특정 구조물로부터 측정된다. 차이 스펙트럼이 방위각에 대해 획득된 스펙트럼 신호에 기초하여 결정된다. 관심 있는 특정 구조물의 품질 표시가 차이 스펙트럼을 분석하는 것에 기초하여 결정되고 보고된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167005761
첨부파일

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