| 초록 |
본원에서 유도 결합 플라즈마(ICP) 반응기들의 실시예들이 제공된다.몇몇 실시예들에서, 유도 결합 플라즈마 반응기를 위한 유전체 윈도우는: 제 1 측, 제 1 측에 대향하는 제 2 측, 엣지, 및 중앙을 포함하는 본체를 포함하고, 유전체 윈도우는 공간적으로 변화하는 유전 계수를 갖는다.몇몇 실시예들에서, 기판을 프로세싱하기 위한 장치는: 프로세스 챔버의 덮개 아래에 배치된 프로세싱 용적을 갖는 프로세스 챔버; 및 프로세싱 용적 내에 배치된 기판 지지부 위의 프로세싱 용적 내에 RF 에너지를 유도적으로 커플링시키고 그리고 그러한 프로세싱 용적에 플라즈마를 형성하기 위해 덮개 위에 배치된 하나 또는 그 초과의 유도 코일들을 포함하고, 덮개는 제 1 측, 및 프로세싱 용적을 대면하는 대향하는 제 2 측을 포함하는 유전체 윈도우이며, 덮개는, 하나 또는 그 초과의 유도 코일들로부터의 RF 에너지의 프로세싱 용적으로의 변화되는 전력 커플링을 제공하기 위해 공간적으로 변화하는 유전 계수를 갖는다. |
