| 초록 |
본 발명은 반데르발스 포스를 이용한 나노시험편 제작장치, 이를 이용한 나노시험편 제작방법, 나노시험편 제작 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 광학현미경에 구비되고, 나노시험 지그 및 나노 시료 안착부가 구성되는 스테이지; 및 단부에 팁이 구성되고, 팁에 나노 시료 안착부에 안착된 나노 시료가 부착되며, 나노 시료를 들어올리는 나노조작기;를 포함하고, 나노 시료 안착부와 나노 시료 사이에 작용되는 제1반데르발스 포스의 크기가 팁과 나노 시료 사이에 작용되는 제2반데르발스 포스의 크기보다 작으며, 제2반데르발스 포스의 크기보다 나노시험 지그와 나노 시료 사이에 작용되는 제3반데르발스 포스의 크기가 더 크고, 나노 시료 안착부에서 나노시험 지그로 나노 시료를 이동시켜서 나노시험편을 제작하는 것을 특징으로 하는 반데르발스 포스를 이용한 나노시험편 제작장치가 제공될 수 있다. 이에 따르면 FIB cutting 및 Pt welding을 이용하지 않고, 반데르발스 포스 및 적정 점도의 접착제(예를 들면 UV 글루)를 이용하여 나노시험편을 제작하게 되므로 FIB cutting에 의한 나노와이어의 손상과 Pt welding에 의한 나노와이어의 프리스탠딩 부분의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다. |
