| 초록 |
본 발명은 내압용기의 사이트글래스에 관한 것으로, 화학기상증착용 챔버의 개폐도어에 설치되는 사이트글래스에 있어서, 상기 개폐도어의 몸체를 이루도록 마련되고, 일측에 힌지가 형성되고, 중앙부에 관측창이 형성되는 글래스플랜지; 상기 관측창 전면에 기밀 결합되는 외측유리; 상기 관측창 후면에 기밀 결합되고, 상기 외측유리와 이격되어 설치되는 내측유리; 상기 외측유리와 내측유리 사이에 형성되는 내압격실에 가압 가스를 공급하도록 상기 글래스플랜지 일측에 결합되는 가압밸브; 및 상기 내압격실의 압력을 체크하도록 상기 글래스플랜지 타측에 결합되는 압력게이지를 포함하는 내압격실이 구비되는 사이트글래스가 제공된다. 본 발명에 따른 내압격실이 구비되는 사이트글래스에 따르면, 이중으로 장착되는 관측용 유리 사이에 내압격실이 형성됨으로써 내압 챔버와 외부 환경간의 압력 차이에 의한 파손을 방지할 수 있다. 내압격실에는 소정의 압력이 유지되도록 지속적으로 압력유지용 가스가 공급되며, 내압격실의 압력을 확인할 수 있도록 측정게이지가 마련됨으로써 공정에 따른 반응챔버의 압력에 따라 내압격실의 압력이 조절되도록 할 수 있다. 또한 이중으로 설치되는 관측용 유리를 각각 교체할 수 있도록 함으로써 유리가 파손되거나, 챔버 내측의 유리가 오염되었을 시 정비 및 유지관리가 용이한 사이트글래스가 제공된다. |
