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유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판의 제조 장치

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기관명	NDSL
출원인	아반스트레이트 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0042447
출원일자	2015-03-26
공개번호	20151015
공개일자	2016-08-25
등록번호	10-1651355-0000
등록일자	2016-08-19
권리구분	KPTN
초록	백금족 금속이 산화되어 휘발되는 것을 억제한다. 용융 유리를 처리하는 처리 장치를 이용해서 용융 유리를 처리하는 유리 기판의 제조 방법이다.내벽의 적어도 일부가 백금족 금속을 포함하는 재료로 이루어지는 처리 장치의 내부에, 용융 유리를, 용융 유리의 액면의 상부에 기상 공간이 형성되도록 공급하고, 기상 공간에 백금족 금속에 대해 불활성 가스를 유입시키고, 기상 공간 내의 기체를 기상 공간과 처리 장치의 외부 공간을 접속하는 배기구로부터 흡인하고, 배기구로부터 흡인되는 기체 중의 산소 농도를 계측하여, 산소 농도가 5.0% 이하의 범위로 되도록, 백금족 금속에 대해 불활성인 가스의 기상 공간으로의 유입량을 조절한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150042447
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