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특허/실용신안
실리콘 단결정 잉곳 제조 방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 실리콘 단결정 잉곳
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 주식회사 엘지실트론 |
| 출원번호 | 10-2015-0001776 |
| 출원일자 | 2015-01-07 |
| 공개번호 | 20160721 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 실시예는 챔버; 챔버 내에 배치되고, 실리콘 용융액을 수용하는 도가니; 도가니의 외측에 배치되어 도가니를 가열하는 히터; 챔버 내에 배치되는 열차폐부; 및 실리콘 용융액으로부터 성장하는 단결정을 인상시키는 인상부; 를 포함하는 실리콘 단결정 성장 장치를 이용한 실리콘 단결정 잉곳 제조 방법에 있어서, 넥부, 숄더부 및 바디부를 각각 성장시키는 단계를 포함하고, 숄더부를 성장시키는 단계는 숄더부의 인상 속도를 제1 인상속도에서 제2 인상속도로 감소시키고, 공정 온도 하강 관리값을 제1 관리값에서 제2 관리값으로 감소하는 제1 단계; 및 숄더부의 인상 속도를 제2 인상속도로 유지하고, 상기 공정 온도 하강 관리값을 제2 관리값으로 유지하는 제2 단계; 를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 실리콘 단결정 잉곳을 제공하여, 제조된 실리콘 단결정 잉곳의 숄더부 형상을 제어하여 유전위화 빈도를 줄임으로써 고품질의 단결정 잉곳을 얻을 수 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150001776 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C30B-015/20,C30B-029/06 |
| 주제어 (키워드) |