| 초록 |
본 발명은 단원자 증착(atomic layer deposition, ALD)법을 이용하여, 도핑영역층과 비도핑영역층을 구비하여 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복합박막은 박막 일부에 도판트 원자층을 포함하는 도핑영역층을 구비함으로써, 박막 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적 특성을 갖게 되고, 이는 도핑영역층과 비도핑영역층간의 밴드 구조가 달라지게 됨으로써 박막의 층 영역별로 전자기적 특성이 달라지게 되고, 기능성이 향상되어 디스플레이, 메모리, 반도체 영역 전반에 걸쳐서 사용될 수 있다. 나아가 복합박막 내 도핑영역층의 위치 및 이의 도판트 농도에 따라 다양한 전자기적 특성에 영향을 미치며, 따라서 도핑영역층의 위치 및 농도를 조절함으로써 박막의 전자기적 특성을 목적에 따라 손쉽게 조절할 수 있다. 본 발명에 따른 복합박막은 단원자 증착법으로 제조됨으로써, 간단한 공정을 통하여 박막의 광학적 및 전자기적 특성을 제어할 수 있으며, 별도의 추가 공정이나 복수의 막을 따로따로 제조할 필요가 없기 때문에 생산 단가 측면에서도 유리하다. |
