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퍼하이드로폴리실라잔, 및 이를 포함하는 조성물, 및 이를 사용한 실리카질막의 형성 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
출원번호	10-2016-7018321
출원일자	2016-07-07
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 결함이 적은 실리카질막을 형성할 수 있는 퍼하이드로폴리실라잔과 이를 포함하는 경화용 조성물의 제공. [해결 수단] 본 발명에 의하면, 중량 평균 분자량이 5,000 이상 17,000 이하인 퍼하이드로폴리실라잔으로서, 상기 퍼하이드로폴리실라잔을 크시롤에 용해시킨 17중량% 용액의 1 H-NMR을 측정했을 때, 크시롤의 방향족환 수소의 양을 기준으로 한 SiH 1, 2 의 양의 비가 0.235 이하, NH의 양의 비가 0.055 이하인 것을 특징으로 하는 퍼하이드로폴리실라잔과, 이를 포함하는 경화용 조성물이 제공된다.본 발명은, 그 경화용 조성물을 기재 위해 도포하고, 가열하는 것을 포함하는 실리카질막의 형성 방법도 제공하는 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018321
첨부파일

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