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관심 패턴 이미지 집단에 대한 이상치 검출

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2017-7033643
출원일자	2017-11-21
공개번호	20171221
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	관심 패턴(POI)의 복수의 인스턴스에서 이상치를 식별하는 방법 및 시스템이 제공된다.일 시스템은 또한 시편 상에 형성된 다이 내의 POI의 복수의 인스턴스에서 이미징 서브 시스템에 의해 생성된 이미지를 획득하도록 구성된 하나 이상의 컴퓨터 서브 시스템을 포함한다.복수의 인스턴스는 다이 내의 비주기적인 위치에 위치되는 2개 이상의 인스턴스를 포함한다.컴퓨터 서브 시스템(들)은 또한 POI의 복수의 인스턴스에서 생성된 이미지 각각의 특징을 결정하도록 구성된다.또한, 컴퓨터 서브 시스템(들)은 또한 결정된 특징에 기초하여 POI의 복수의 인스턴스에서 하나 이상의 이상치를 식별하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177033643
첨부파일

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