레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 |
출원번호 | 10-2015-7030342 |
출원일자 | 2015-10-21 |
공개번호 | 20151203 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 가공 대상물(1)에 레이저광(L)을 집광시킴으로써, 가공 대상물(1)에 개질 영역(7)을 형성하는 발명으로서, 레이저광(L)을 출사하는 레이저 광원과, 레이저 광원에 의해 출사된 레이저광(L)을 가공 대상물(1)에 집광시키는 집광 광학계(4)와, 집광 광학계(4)에 의해 가공 대상물(1)에 집광되는 레이저광(L)에 수차를 부여하는 수차 부여부(203)를 구비하고, 레이저광(L)의 광축 방향에 있어서, 가공 대상물(1)에 레이저광(L)을 집광시키는 것에 기인하여 당해 집광 위치에서 발생하는 수차인 집광 발생 수차의 범위를 기준 수차 범위로 했을 경우, 수차 부여부(203)는, 광축 방향에 있어서 기준 수차 범위보다도 긴 장척 범위를 수차의 범위로서 가지면서, 또한 광축 방향에 있어서의 레이저광(L)의 강도 분포가 장척 범위에서 연속하는 강약을 가지도록, 레이저광에 제1 수차를 부여함으로써, 가공 품질을 향상시킨다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157030342 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | B23K-026/00,B23K-026/06,B23K-103/00 |
주제어 (키워드) |